在掃描電鏡中，圖像是通過(guò)電子束與樣品交互并產(chǎn)生的。以下是SEM圖像生成的基本過(guò)程：

電子源產(chǎn)生電子束： SEM中通常使用熱陰極或場(chǎng)發(fā)射電子源產(chǎn)生高能電子束。這些電子束具有高能量，通常在幾千至數(shù)十千電子伏特（keV）之間。

電子束聚焦： 電子束經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡，如透鏡和聚焦透鏡，以將電子束聚焦成一個(gè)細(xì)小的束斑。這個(gè)聚焦過(guò)程類(lèi)似于光學(xué)顯微鏡中的物鏡。

電子束照射樣品： 聚焦后的電子束被照射到待觀察的樣品表面上。樣品通常需要導(dǎo)電性，因?yàn)殡娮邮恼丈鋾?huì)導(dǎo)致樣品電荷積累。

電子-樣品相互作用： 電子束與樣品表面上的原子和電子相互作用。這包括電子的散射、散射電子的產(chǎn)生、透射電子、激發(fā)和發(fā)射等。主要的相互作用包括：

散射： 部分電子會(huì)被散射回到探測(cè)器，產(chǎn)生圖像的信號(hào)。

透射： 一些電子會(huì)穿透樣品，這種電子不會(huì)產(chǎn)生圖像信號(hào)。

二次電子發(fā)射： 部分電子會(huì)在與樣品表面相互作用后被發(fā)射出來(lái)，這些電子用于生成表面形貌圖像。

后向散射電子： 一些電子會(huì)朝著電子束的方向后向散射，這些電子通常用于成分分析。

信號(hào)檢測(cè)和處理： 從電子-樣品相互作用中產(chǎn)生的信號(hào)，如散射電子或二次電子，被探測(cè)器捕獲。捕獲的信號(hào)被轉(zhuǎn)換為電子信號(hào)，并經(jīng)過(guò)放大和處理。

圖像形成： 處理后的信號(hào)用于形成圖像。對(duì)不同的信號(hào)進(jìn)行處理和顯示，可以獲得不同類(lèi)型的SEM圖像，如表面形貌圖像、成分分析圖像等。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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