澤攸科技無掩膜光刻機是一種先進的光刻技術(shù)設(shè)備，它不需要使用傳統(tǒng)的物理掩膜版來轉(zhuǎn)移電路圖形，而是通過計算機控制的高精度光束直接在感光材料上進行掃描曝光，形成所需的微細圖形。目前在微電子制造、微納加工、MEMS、LED、生物芯片等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。

技術(shù)特點

▲ 納米壓電位移臺拼接技術(shù)

▲ 紅光引導(dǎo)曝光，所見即所得

▲ OPC修正算法優(yōu)化圖形質(zhì)量

▲ CCD相機逐場自動聚焦

▲ 灰度勻光技術(shù)

光路遠離結(jié)構(gòu)圖

主要指標(biāo)

應(yīng)用案例