在掃描電鏡操作中，對焦和消像散是有固定先后順序的，順序不當(dāng)會反復(fù)調(diào)節(jié)卻始終不清晰。

一般原則是：先對焦，再消像散，再精細對焦。

首先進行粗到細的對焦。在目標(biāo)放大倍率下，通過焦距調(diào)節(jié)讓圖像盡量清晰，這一步的目的是把焦點調(diào)到正確位置，為像散校正提供基礎(chǔ)。

然后進行消像散。像散會導(dǎo)致圖像在某一方向拉伸或發(fā)虛，在放大倍率較高時明顯。通過調(diào)節(jié) X、Y 像散旋鈕，使圖像在各個方向都同樣清晰，邊緣不再出現(xiàn)方向性模糊。

消像散后，圖像焦點通常會發(fā)生輕微變化，因此需要再次進行精細對焦，讓整體清晰度達到適合狀態(tài)。

在實際操作中，常在較高倍率下完成“對焦 → 消像散 → 再對焦”這一循環(huán)，直到圖像穩(wěn)定、細節(jié)清楚為止。掌握這個順序，是獲得高質(zhì)量 SEM 圖像的關(guān)鍵。