實(shí)用型電子束光刻機(jī)兼顧精度與實(shí)用性，優(yōu)化了操作便捷性與成本控制，適配半導(dǎo)體微器件小批量試制、科研成果轉(zhuǎn)化、高校教學(xué)實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景，無(wú)需超高精度，可滿足常規(guī)微納加工的核心需求。

核心性能與配置

- 光刻精度：具備納米級(jí)光刻能力，可滿足微納器件、微結(jié)構(gòu)的精細(xì)加工需求；

- 核心配置：搭載場(chǎng)發(fā)射電子槍與高精度樣品臺(tái)，兼顧加工效率與精度，適配小批量加工需求；

- 操作便捷：參數(shù)調(diào)節(jié)直觀，支持自動(dòng)化曝光與校準(zhǔn)功能，降低操作門檻，提升小批量試制效率；

- 成本適配：核心部件穩(wěn)定耐用，日常維護(hù)簡(jiǎn)潔，耗材成本合理，適配小批量生產(chǎn)與教學(xué)實(shí)驗(yàn)的預(yù)算需求。

該機(jī)型主打?qū)嵱眠m配，平衡精度與操作成本，不同產(chǎn)品在加工效率、維護(hù)便捷性上存在差異，適合對(duì)精度有一定要求、注重性價(jià)比的使用場(chǎng)景，是科研成果轉(zhuǎn)化與基礎(chǔ)微納加工的優(yōu)選裝備。